4200A-SCS是一款模塊化、完全集成的參數(shù)分析儀，具有晶圓級(jí)可靠性測(cè)試功能。

該系統(tǒng)允許對(duì)半導(dǎo)體器件和測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行直流I-V，脈沖I-V和C-V表征，先進(jìn)的數(shù)字掃描參數(shù)分析儀結(jié)合了亞微米的測(cè)試速度和精度。4200A-SCS可以提供多達(dá)9個(gè)插槽，用于支持源測(cè)量單元 (SMU)，電容電壓?jiǎn)卧?(CVU) 和脈沖測(cè)量單元 (PMU)， 可以通過(guò)GPIB、以太網(wǎng)或RS-232連接來(lái)控制其他外部?jī)x器，如開(kāi)關(guān)矩陣、LCR儀表和探針臺(tái)。該軟件包括一個(gè)測(cè)試序列管理器、交互式測(cè)試設(shè)置界面、類似excel的數(shù)據(jù)表格、繪圖功能。在交互式手動(dòng)模式（用于開(kāi)發(fā)期間的單個(gè)測(cè)試操作）或更自動(dòng)化的生產(chǎn)用例中，它使用起來(lái)更靈活。

賽儀歐電子4200A-SCS具備以下特點(diǎn)：

? 在不影響準(zhǔn)確性和外推壽命的情況下，硬件和軟件能加速測(cè)試。

? 控制半自動(dòng)或自動(dòng)探針臺(tái)和溫控托盤。

? 控制儀器、探頭、托盤，創(chuàng)建測(cè)試、執(zhí)行測(cè)試、管理數(shù)據(jù)。

? 可更改應(yīng)力序列，以應(yīng)對(duì)新材料測(cè)試和失效機(jī)制。

? 分析軟件，提供易于提取的測(cè)試參數(shù)和繪圖工具。

4200A-SCS系統(tǒng)提供的標(biāo)配軟件Clarius包括一組用于WLR測(cè)試的項(xiàng)目。這些項(xiàng)目包括一個(gè)具有可配置的測(cè)試級(jí)和項(xiàng)目級(jí)的應(yīng)力測(cè)量循環(huán)，以及一個(gè)用于在晶圓上每個(gè)site上進(jìn)行測(cè)試的循環(huán)項(xiàng)目。圖3顯示了HCI范例項(xiàng)目。該圖顯示了某一個(gè)特定的參數(shù)隨時(shí)間推移而被測(cè)試，每個(gè)點(diǎn)代表一個(gè)應(yīng)力周期后不同的測(cè)量。左邊的窗口是測(cè)試序列，顯示了測(cè)試的順序和項(xiàng)目的整體結(jié)構(gòu)。在Clarius項(xiàng)目庫(kù)中中有幾個(gè)用于WLR測(cè)試的項(xiàng)目，包括 :

■ 熱載流子注入（HCI）

■ 負(fù)溫度偏置不穩(wěn)定性（NBTI）

■ 電遷移了（EM）

■ 電荷擊穿（QBD）

不斷變化的測(cè)試要求工程師找到高效合適的設(shè)備和適合工藝開(kāi)發(fā)的儀器。所選擇的工具應(yīng)該采集應(yīng)力引起的參數(shù)退化的所有相關(guān)數(shù)據(jù)，并且能靈活適應(yīng)非傳統(tǒng)的WLR測(cè)試，例如應(yīng)力C-V、NBTI等等。

這個(gè)工具還應(yīng)該是可擴(kuò)展的，這樣就不需要每次出現(xiàn)新的測(cè)試問(wèn)題都去購(gòu)買一個(gè)全新的系統(tǒng)。這個(gè)工具應(yīng)該易于理解，這樣工程師就可以把寶貴的時(shí)間集中在分析數(shù)據(jù)上，而不是學(xué)習(xí)使用測(cè)試系統(tǒng)。

WLR應(yīng)力測(cè)量測(cè)試趨勢(shì)

HCI

NBTI/PBTI

NBTI–HCI

TDDB–NBTI

電荷捕獲

脈沖/DC應(yīng)力

綜合表征 (I-V, C-V, CP)

不斷發(fā)展的設(shè)計(jì)尺度和新材料使得可靠性測(cè)試比以往任何時(shí)候都更加重要，4200A-SCS參數(shù)分析儀和工具包提供了快速測(cè)試所需的硬件和軟件以及完整的器件特性和可靠性測(cè)試。

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